キャリア捕獲履歴を用いたRandom Telegraph Noiseの解析：新たな信頼性不安定性現象の観測

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第73回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 13a-F4-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.2.0_2792

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 73

開催地: 愛媛大学・松山大学

開催日: 2012/09/11 - 2012/09/14

キャリア捕獲履歴を用いたRandom Telegraph Noiseの解析：新たな信頼性不安定性現象の観測

*土屋敏章, 田村直義, 榊谷明仁, 園田賢一郎, 亀井政幸, 山川真弥, 桑原純夫

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キーワード: 13a-F4-3, 半導体A（シリコン）, Siデバイス／集積化技術, RTN, 信頼性, 半導体

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© 2012 公益社団法人応用物理学会

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