積層構造TiC電極とダイヤモンドの接触抵抗

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第73回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 14p-F2-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.2.0_2889

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 73

開催地: 愛媛大学・松山大学

開催日: 2012/09/11 - 2012/09/14

積層構造TiC電極とダイヤモンドの接触抵抗

*武正敦, 田中祐樹, 角嶋邦之, Parhat Ahmet, 片岡好則, 西山彰, 杉井信行, 筒井一生, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋

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キーワード: 14p-F2-4, 半導体B（探索的材料・物性・デバイス）, 探索的材料物性, 接触抵抗, 半導体ダイヤモンド

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