ポリSi pinダイオードを選択素子とする相変化デバイスのプロセス開発

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第73回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 12a-F7-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.2.0_3454

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 73

開催地: 愛媛大学・松山大学

開催日: 2012/09/11 - 2012/09/14

ポリSi pinダイオードを選択素子とする相変化デバイスのプロセス開発

*田井光春, 木下勝治, 大柳孝純, 北村匡史, 森川貴博, 秋田憲一, 高浦則克

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キーワード: 12a-F7-2, 非晶質・微結晶, 基礎物性・評価, ポリSi pinダイオード, 相変化デバイス

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