a-IGZO薄膜における物理特性の成膜ガス圧力依存性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第73回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 12p-PB8-16

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.2.0_3760

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 73

開催地: 愛媛大学・松山大学

開催日: 2012/09/11 - 2012/09/14

a-IGZO薄膜における物理特性の成膜ガス圧力依存性

*安野聡, 喜多隆, 高橋真, 日野綾, 森田晋也, 林和志, 釘宮敏洋

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キーワード: 12p-PB8-16, 合同セッション, 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」, IGZO, 酸化物半導体

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