アレイ型CMOS-MEMS加速度センサの検討(4)

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第73回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 12a-PA5-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.2.0_3819

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 73

開催地: 愛媛大学・松山大学

開催日: 2012/09/11 - 2012/09/14

アレイ型CMOS-MEMS加速度センサの検討(4)

*本橋剛, 小西敏文, 松嶋隆明, 山根大輔, 伊藤浩之, 石原昇, 年吉洋, 町田克之, 益一哉

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キーワード: 12a-PA5-7, 合同セッション, 合同セッションL（MEMS，NEMSの基礎と応用：異種機能集積化）, Accelerometer, CMOS-MEMS, Sensor

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