コンプライアントバンプの超音波接合によるPENフィルム上のLSIチップの常温実装

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第73回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 12a-PA5-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.2.0_3820

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 73

開催地: 愛媛大学・松山大学

開催日: 2012/09/11 - 2012/09/14

コンプライアントバンプの超音波接合によるPENフィルム上のLSIチップの常温実装

*首藤高徳, 岩鍋圭一郎, 野田和宏, 中居誠也, 浅野種正

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キーワード: 12a-PA5-8, 合同セッション, 合同セッションL（MEMS，NEMSの基礎と応用：異種機能集積化）, フレキシブル, 接合, 超音波

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