Agを用いたサーファクタント・クリスタライゼーション法によるゲルマニウム薄膜の結晶化

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第60回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 27p-PB4-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.1.0_2675

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 60

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2013/03/27 - 2013/03/30

Agを用いたサーファクタント・クリスタライゼーション法によるゲルマニウム薄膜の結晶化

*三芝直也, 田中勝之, 稲瀬陽介, 三浦寛之, 神子公男, 弓野健太郎

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キーワード: 27p-PB4-1, 半導体A（シリコン）, Siプロセス技術, Surfactant-Crystallization

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