MOVPE成長N極性InGaNにおけるIn組成の<i>c</i>面サファイア基板微傾斜角依存性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第60回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 27p-G21-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.1.0_3122

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 60

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2013/03/27 - 2013/03/30

MOVPE成長N極性InGaNにおけるIn組成のc面サファイア基板微傾斜角依存性

*正直花奈子, 崔正焄, 進藤裕文, 木村健司, 谷川智之, 花田貴, 片山竜二, 松岡隆志

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キーワード: 27p-G21-3, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, InGaN, MOVPE, N-polar

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