第60回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 27p-G21-6
会議情報
主催: 公益社団法人 応用物理学会
会議名: 応用物理学会春季学術講演会
回次: 60
開催地: 神奈川工科大学
開催日: 2013/03/27 - 2013/03/30
Si (111)基板上GaN成長のin-situ観察によるGaN膜厚最適化 GaN thickness optimization by in-situ observation of GaN growth on Si (111)
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