低温堆積SiN<sub>x</sub>/SiO<sub>2</sub>二層膜による結晶シリコン表面パッシベーション

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第60回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 29a-A4-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.1.0_3429

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 60

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2013/03/27 - 2013/03/30

低温堆積SiN_x/SiO₂二層膜による結晶シリコン表面パッシベーション

*小柳俊貴, 林将平, 水野翼, 池田弥央, 花房宏明, 東清一郎

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キーワード: 29a-A4-7, 非晶質・微結晶, シリコン系太陽電池, 少数キャリアライフタイム

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