応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
The 60th JSAP Spring Meeting 2013
セッションID: 29a-A4-6
会議情報

主催: The Japan Society of Applied Physics

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 60

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2013/03/27 - 2013/03/30

Passivation Quality of A SiNx Single Passivation Layer on Crystalline-Si Prepared by Cat-CVD
*Cham Thi Trinh, Koichi Koyama, Keisuke Ohdaira, Hideki Matsumura
著者情報
キーワード: 29a-A4-6, Cat-CVD, Passivation layers, Silicon nitride SiNx
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© 2013 The Japan Society of Applied Physics
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