新対向ターゲット式スパッタ法によるTa<sub>2</sub>O<sub>5</sub>/ZnO:Inヘテロ構造膜の作製と高感度pHセンサーへの応用

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第60回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 28p-G19-15

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.1.0_3688

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 60

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2013/03/27 - 2013/03/30

新対向ターゲット式スパッタ法によるTa₂O₅/ZnO:Inヘテロ構造膜の作製と高感度pHセンサーへの応用

*向井和哉, 大仲崇之, 小池一歩, 前元利彦, 佐々誠彦, 矢野満明, 門倉貞夫, 中光豊

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キーワード: 28p-G19-15, 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」, ISFET, ZnO, スパッタ法

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