反射分光式シリコンウェハ厚さ計で用いる短波長近赤外帯(SWIR)光学定数分散の検討

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第74回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 17p-C13-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.2.0_1579

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 74

開催地: 同志社大学

開催日: 2013/09/16 - 2013/09/20

反射分光式シリコンウェハ厚さ計で用いる短波長近赤外帯(SWIR)光学定数分散の検討

*小貫哲平, 小野竜典, 柳町修介, 尾嶌裕隆, 清水淳, 周立波

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キーワード: 17p-C13-5, 光, 計測光学, 薄ウェハ厚さ計

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