金属-誘電体遮蔽半導体ピラー構造の微小光共振器作製とその評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第74回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 19p-D7-17

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.2.0_3753

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 74

開催地: 同志社大学

開催日: 2013/09/16 - 2013/09/20

金属-誘電体遮蔽半導体ピラー構造の微小光共振器作製とその評価

*竹本亮, 石原渚, 黒澤裕之, 末宗幾夫

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キーワード: 19p-D7-17, 半導体B（探索的材料・物性・デバイス）, 電子デバイス・プロセス技術, 微小光共振器, 金属埋め込み

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