応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第74回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 20a-D7-1
会議情報

塩素ガスプラズマによるGaNエッチングにおける窒素ガス添加の効果
*劉沢 セイ朴 鐘胤曹 佳棟加古 隆石川 健治小田 修竹田 圭吾近藤 博基関根 誠堀 勝
著者情報
会議録・要旨集 フリー

詳細
記事の1ページ目
著者関連情報
© 2013 公益社団法人 応用物理学会
前の記事 次の記事
feedback
Top