応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第74回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 20a-D7-5
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 74

開催地: 同志社大学

開催日: 2013/09/16 - 2013/09/20

高温熱処理を挟む2段階ALDプロセスによるAl2O3/InAlN界面特性の向上
*中野 拓真, 千葉 勝仁, 赤澤 正道
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キーワード: 20a-D7-5, 半導体B（探索的材料・物性・デバイス）, 電子デバイス・プロセス技術, InAlN
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