p形GaNショットキー接触における水素プラズマ処理の影響

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第74回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 20a-D7-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.2.0_3760

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 74

開催地: 同志社大学

開催日: 2013/09/16 - 2013/09/20

p形GaNショットキー接触における水素プラズマ処理の影響

*青木俊周, 吉田智洋, 末光哲也, 金田直樹, 三島友義, 塩島謙次

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キーワード: 20a-D7-7, 半導体B（探索的材料・物性・デバイス）, 電子デバイス・プロセス技術, 光応答法, ショットキー接触, 水素プラズマ処理

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