The 74th JSAP Autumn Meeting 2013
セッションID: 18p-PM3-22
会議情報
主催: The Japan Society of Applied Physics
会議名: 応用物理学会秋季学術講演会
回次: 74
開催地: 同志社大学
開催日: 2013/09/16 - 2013/09/20
Single crystal diamond MEMS/NEMS
*Meiyong Liao, Masaya Toda, Liwen Sang, Masataka Imura, Naoki Ikeda, Jiangwei Liu, Shuiji Tanaka, Yasuo Koide
著者情報
キーワード:
18p-PM3-22,
2013 JSAP-MRS Joint Symposia,
Symposium M: Diamond Technology: New Developments in Electronic, Photonics and Quantum Devices
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