応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第61回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 19p-E8-1
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スパッタ堆積によるSiO2膜の抵抗遷移の特徴に関する考察
*山口 凜太郎佐藤 伸吾大村 泰久中村 和広
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© 2014 公益社団法人 応用物理学会
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