HfO<sub>2</sub>基薄膜の強誘電性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第61回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 18p-D10-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.1.0_134

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 61

開催地: 青山学院大学

開催日: 2014/03/17 - 2014/03/20

HfO₂基薄膜の強誘電性

*舟窪浩, 清水荘雄, 横内達彦, 及川貴弘, 白石貴久

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キーワード: 18p-D10-2, 分科企画シンポジウム, フェロエレクトリック・イノベーション　－材料からデバイスまで－, 強誘電体薄膜

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