第61回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 19p-F12-13
会議情報
主催: 公益社団法人 応用物理学会
会議名: 応用物理学会春季学術講演会
回次: 61
開催地: 青山学院大学
開催日: 2014/03/17 - 2014/03/20
In-situ P doped SiGeストレッサーを有する引張り歪みGeOI nMOSFETの高電流駆動力実証
*上牟田 雄一, 守山 佳彦, 三枝 栄子, 前田 辰郎, Jevasuwan Wipakorn, 倉島 優一, 高木 秀樹, 小田 穣, 入沢 寿史, 池田 圭司, 黒澤 悦男, 手塚 勉
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