SiC結晶の表面モフォロジーと転位の関係

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第61回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 17a-PG3-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.1.0_3429

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 61

開催地: 青山学院大学

開催日: 2014/03/17 - 2014/03/20

SiC結晶の表面モフォロジーと転位の関係

*生頼義久, 渡邉俊哉, 佐藤高広, 一色俊之, 福井宗利

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キーワード: 17a-PG3-8, 結晶工学, IV族系化合物, SiC, 転位, 走査電子顕微鏡

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