原子層状MoS<sub>2</sub>のエッチング：光学コントラストによる層数評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第61回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19p-E18-6

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.1.0_3709

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 61

開催地: 青山学院大学

開催日: 2014/03/17 - 2014/03/20

原子層状MoS₂のエッチング：光学コントラストによる層数評価

*二之宮成樹, 森貴洋, 内田紀行, 渡辺英一郎, 津谷大樹, 森山悟士, 宮田典幸, 安田哲二, 田中正俊, 安藤淳

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キーワード: 19p-E18-6, ナノカーボン, 構造制御・プロセス, MoS2, トランジスタ, エッチング

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