応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第61回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 18p-E10-2
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PLD法で真空製膜したアモルファスIn-Ga-Zn-O薄膜における電荷補償と水素によるパッシベーション効果
*神谷 利夫Herms Johannes大類 貴俊羽生 雄一郎平松 秀典雲見 日出也細野 秀雄上田 茂典大橋 直樹
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