応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第61回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 19a-E4-4
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「第5回シリコンテクノロジー分科会研究奨励賞受賞記念講演」リコン電極上に成膜したフッ化カルシウム薄膜のバイポーラ抵抗変化特性
*西 義史
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