プロトンビーム描画技術による単結晶CVDダイヤモンド内部への微細構造形成技術の開発

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第61回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 20p-F2-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.1.0_500

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 61

開催地: 青山学院大学

開催日: 2014/03/17 - 2014/03/20

プロトンビーム描画技術による単結晶CVDダイヤモンド内部への微細構造形成技術の開発

*神林佑哉, 加田渉, 猿谷良太, 久保田篤志, 佐籐隆博, 江夏昌志, 石井保行, 神谷富裕, 三浦健太, 花泉修

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キーワード: 20p-F2-7, 放射線, 放射線応用・発生装置・新技術, ダイヤモンド, diamond, プロトン

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