スパッタ法によるウルツ鉱型(Al,Ti)Nのサーミスタ薄膜の作製

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第75回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 17p-A11-14

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_1307

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

スパッタ法によるウルツ鉱型(Al,Ti)Nのサーミスタ薄膜の作製

*長友憲昭, 稲場均, 田中寛, 藤田利晃, 竹島一太, 松本文夫, 山口邦生

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キーワード: 17p-A11-14, 薄膜・表面, 薄膜新材料, 窒化物, thermistor

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