上部電極膜のスパッタ成膜条件が有機EL素子の動作特性に及ぼす影響

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第75回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 17p-A11-13

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_1306

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

上部電極膜のスパッタ成膜条件が有機EL素子の動作特性に及ぼす影響

*星陽一, 濱口大地, 小林信一, 内田孝幸, 清水英彦

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キーワード: 17p-A11-13, 薄膜・表面, 薄膜新材料, 有機EL, 低ダメージスパッタ堆積, 電極膜

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