微細管内面に形成したエッチング溝パターンの非破壊観察

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第75回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 17a-A14-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_1446

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

微細管内面に形成したエッチング溝パターンの非破壊観察

*木村のぞみ, 堀内敏行

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キーワード: 17a-A14-10, ビーム応用, リソグラフィ, 内面露光, 非破壊観察

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