集束イオンビーム化学気相成長法を用いた長尺オーバーハングナノ構造形成における材料組成の均質化

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第75回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 17a-A14-11

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_1447

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

集束イオンビーム化学気相成長法を用いた長尺オーバーハングナノ構造形成における材料組成の均質化

*米谷玲皇, 青沼正

著者情報

キーワード: 17a-A14-11, ビーム応用, リソグラフィ, 集束イオンビーム, 化学気相成長法, 立体ナノ構造

会議録・要旨集フリー

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 2014 公益社団法人応用物理学会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

Top