応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
The 75th JSAP Autumn Meeting 2014
セッションID: 19a-A17-1
会議情報

主催: The Japan Society of Applied Physics

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

Evidence for Si up-diffusion during scavenging of interfacial SiO2 in HfO2/SiO2/Si stack
*李 秀妍, 矢嶋 赳彬, 西村 知紀, 長瀬 和夫, 鳥海 明
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キーワード: 19a-A17-1, SiO2 Scavenging, Si diffusion, SiO desorption
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© 2014 The Japan Society of Applied Physics
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