応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第75回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 19a-A17-2
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

Hf1-xZrxO2-HfO2積層膜におけるHfO2膜の強誘電的特性の発現
*西村 知紀, 矢嶋 赳彬, 長汐 晃輔, 鳥海 明
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キーワード: 19a-A17-2, 半導体A（シリコン）, 絶縁膜技術, 強誘電体
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