集積化CMOS-MEMS加速度センサへ向けたsub-1G静電容量型センサの検討

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第75回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 17p-PA1-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_2684

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

集積化CMOS-MEMS加速度センサへ向けたsub-1G静電容量型センサの検討

*亀井将太, 山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 年吉洋, 町田克之, 益一哉

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キーワード: 17p-PA1-4, 半導体A（シリコン）, Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術, CMOS-MEMS, 加速度センサ, sub-1G

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