積層メタル構造による3軸加速度センサの検討

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第75回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 17p-PA1-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_2685

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

積層メタル構造による3軸加速度センサの検討

*松島隆明, 小西敏文, 山根大輔, 年吉洋, 益一哉, 町田克之

著者情報

キーワード: 17p-PA1-5, 半導体A（シリコン）, Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術, CMOS-MEMS, 加速度センサ, 積層メタル構造

会議録・要旨集フリー

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 2014 公益社団法人応用物理学会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

Top