1次元プラズモニックメタマテリアル吸収体による偏光検知非冷却赤外線センサ

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第75回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 18p-A19-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_2710

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

1次元プラズモニックメタマテリアル吸収体による偏光検知非冷却赤外線センサ

*高川陽輔, 小川新平, 増田恭平, 宮下晃一, 木股雅章

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キーワード: 18p-A19-1, 半導体A（シリコン）, Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術, 赤外線センサ, 偏光

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