熱アニールによるALD-AlOx膜のパッシベーション特性変化

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第75回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 19p-A25-13

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_3518

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

熱アニールによるALD-AlOx膜のパッシベーション特性変化

*今枝博紀, 三木祥平, 小椋厚志, 吉田晴彦, 佐藤真一, 新船幸二

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キーワード: 19p-A25-13, 非晶質・微結晶, シリコン系太陽電池, AlOx

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