アモルファスIZO,IGO,IGZO薄膜の結晶化(2):IGZOの結晶化挙動とデバイス特性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第75回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 18a-A12-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_4015

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

アモルファスIZO,IGO,IGZO薄膜の結晶化(2):IGZOの結晶化挙動とデバイス特性

*須古彩香, 賈軍軍, 中村新一, 川嶋絵美, 宇都野太, 矢野公規, 重里有三

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キーワード: 18a-A12-9, 合同セッションＫワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス, 結晶化, IGZO

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