応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第75回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 18a-A12-8
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

アモルファスIZO, IGO, IGZO薄膜の結晶化(1)：IZOとIGO薄膜の結晶化挙動
*賈 軍軍, 早瀬 礼, 吉田 匡佑, 中村 新一, 重里 有三
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キーワード: 18a-A12-8, 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス, In2O3-ZnO, In2O3-Ga2O3, Crystallization
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