IGZO薄膜における結晶性の成膜条件依存性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第75回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 18p-A12-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_4018

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

IGZO薄膜における結晶性の成膜条件依存性

*山田良則, 下村明久, 野中裕介, 石原典隆, 山﨑舜平

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キーワード: 18p-A12-3, 合同セッションＫワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス, IGZO

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