スピンコート法で作製したIGZO薄膜の特性に与える焼成温度と時間の影響

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第75回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 18p-A12-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_4019

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

スピンコート法で作製したIGZO薄膜の特性に与える焼成温度と時間の影響

*陳東京, 森本貴明, 福田伸子, 大木義路

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キーワード: 18p-A12-4, 合同セッションＫワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス, 酸化物半導体薄膜, IGZO

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