c面サファイア基板上への単結晶ZnO膜の形成: 格子不整合系ヘテロエピタキシーにおける成長初期過程の表面形態の影響

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第75回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 20a-A12-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_4058

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

c面サファイア基板上への単結晶ZnO膜の形成: 格子不整合系ヘテロエピタキシーにおける成長初期過程の表面形態の影響

*板垣奈穂, 井出智章, 松島宏一, 山下大輔, 徐鉉雄, 古閑一憲, 白谷正治

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キーワード: 20a-A12-1, 合同セッションＫワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス, 酸化亜鉛, スパッタリング, ヘテロエピタキシー

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