UHVスパッタエピタキシー法によるZnMgO層の成長(Ⅱ)

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第75回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 20a-A12-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_4059

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

UHVスパッタエピタキシー法によるZnMgO層の成長(Ⅱ)

*三好佑弥, 佐久間大樹, 松久健司, 篠田宏之, 六倉信喜

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キーワード: 20a-A12-2, 合同セッションＫワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス, ZnO

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