有機強誘電体イミダゾールのブレードコート法による薄膜作製と物性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 13p-A21-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_1192

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

有機強誘電体イミダゾールのブレードコート法による薄膜作製と物性

*野田祐樹, 山田寿一, 賀川史敬, 小林賢介, 熊井玲児, 堀内佐智雄, 長谷川達生

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キーワード: 13p-A21-7, 薄膜・表面, 強誘電体薄膜, プロセス・評価技術, 強誘電体, イミダゾール, 薄膜

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