斜め蒸着法を用いた無機光学素子

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 11p-D9-6

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_123

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

斜め蒸着法を用いた無機光学素子

*高田昭夫, 小池伸幸, 高橋英司

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キーワード: 11p-D9-6, シンポジウム, 斜め蒸着法，GLAD，STF等，シャドウイングによるナノ形態の制御と評価, 斜め蒸着法, 偏光板, 波長板

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