マイクロ波励起プラズマを用いたWO<sub>3</sub>の形成と抵抗変化メモリへの応用

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 13p-P5-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_1328

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

マイクロ波励起プラズマを用いたWO₃の形成と抵抗変化メモリへの応用

*高木翔太, 荒井哲司, 有元圭介, 山中淳二, 中川清和, 高松利行

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キーワード: 13p-P5-3, 薄膜・表面, 酸化物エレクトロニクス, 抵抗変化メモリ, 抵抗変化メモリ, 酸化タングステン, プラズマ

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