電界放出微小電子源を用いた低速電子回折

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 13p-P7-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_1430

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

電界放出微小電子源を用いた低速電子回折

千原佑太, 達城裕樹, 高田賢哉, 中川剛志, *水野清義

著者情報

キーワード: 13p-P7-3, 薄膜・表面, 表面物理・真空, 表面, 低速電子回折, 電界放出, 電界誘起ガスエッチング

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