Si(001)表面に吸着したCOの透過FT-IRによる解析

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 13p-P7-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_1429

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

Si(001)表面に吸着したCOの透過FT-IRによる解析

*大野真也, 田中一馬, 田中正俊, 吉信淳

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キーワード: 13p-P7-2, 薄膜・表面, 表面物理・真空, 表面, シリコン, 一酸化炭素, 表面反応

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