点回折干渉計によるEUV対物ミラーのサブnm精度波面測定

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 11p-A26-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_1503

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

点回折干渉計によるEUV対物ミラーのサブnm精度波面測定

*砂山諒, 豊田光紀, 柳原美廣

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キーワード: 11p-A26-9, ビーム応用, X線技術, X線結像光学系, EUV顕微法, 干渉測定

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