異なる粒子サイズのTi粉体ターゲットを用いたスパッタリング堆積

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 13a-A27-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_1653

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

異なる粒子サイズのTi粉体ターゲットを用いたスパッタリング堆積

*大島多美子, 前田堯, 田中雪, 川崎仁晴, 柳生義人, 猪原武士, 須田義昭

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キーワード: 13a-A27-5, プラズマエレクトロニクス, プラズマ成膜・表面処理, CVD・PVD・スパッタリング, スパッタリング, 粉体ターゲット

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