Sub-1Gから20Gまで検知可能な集積化MEMS加速度センサの検討

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 12p-D15-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_190

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

Sub-1Gから20Gまで検知可能な集積化MEMS加速度センサの検討

*山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 年吉洋, 町田克之, 益一哉

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キーワード: 12p-D15-3, シンポジウム, クルマ社会の未来を支えるセンシング技術　　～自動運転システムの展望と課題～, 加速度センサ, MEMS

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